Der Elektronenresonanz-Effekt ist eine Mikrowellen-Durchschlagsentladung, die unter Vakuumbedingungen auftritt und durch die Bildung einer Elektronenlawine verursacht wird. Die Lawine entsteht, wenn hochenergetische Elektronen gegen die Wände des Geräts prallen und dabei Sekundärelektronen freisetzen. Dadurch entsteht ein Elektronenplasma, das die Reaktion der Komponente beeinträchtigt.
Mit Spark3D kann der Anwender unter Berücksichtigung der 3D-EM-Feldverteilung vollständige numerische Simulationen des Elektronenresonanz-Effekts durchführen. Dazu werden Elektronen in die Komponente geführt, ihre Bahnen verfolgt und die Entwicklung der Elektronenanzahl im Laufe der Zeit geprüft.